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Thermco 5000加熱爐膛修改
本公司代客修改水平爐管,可與現有系統共存,不影響舊系統生產, 可修改: 1.加熱爐(分
本公司代客修改水平爐管,可與現有系統共存,不影響舊系統生產,
可修改:
1.加熱爐(分為三段或是五段)
2.真空系統(前後法蘭、真空管、Wafer Paddle、Gas line..)
3.控制系統(PLC與溫控器、伺服驅動器)
4.壓力計:(HASTING Gauge)
5.Gas Panle修改氣體與壓力
可修改:
1.加熱爐(分為三段或是五段)
2.真空系統(前後法蘭、真空管、Wafer Paddle、Gas line..)
3.控制系統(PLC與溫控器、伺服驅動器)
4.壓力計:(HASTING Gauge)
5.Gas Panle修改