PSC Chamber Wall冷卻水管翻新

PSC Chamber Wall cooling water loop 翻新，此一重點在法蘭Seal o-ring
接觸點的水道成形，一開始是用機器成型，問題發生在大圓成形後的直角管路彎管
成形，後來自行開發模具作固定，再彎管成形，才完成此一維修案。
圖一為舊品
圖二為銅管大圓成形固定
圖三與圖四為直角彎管
圖五測漏