8"立式爐管自製--完結

為期半年的製造過程，讓我們學習到很多的經驗，
螺桿與滑軌的交期，真空計的交期，使我們嚇出一
身冷汗，差一點會讓整個案件延誤。
Robot傳送畫面的設計與功能是否能配合也是一大重點，
PLC的穩定度是值得激賞的，當debug完成後，穩定度几乎
百分百。
爐管的另一重點，控溫的準確性與穩定度，我們使用臺製
的加熱爐與日製的溫控器(OMRAN E5ER)，在後段加入P.I.D
程控功能後，使得溫度的控制趨近完美，溫控器提供16段升降
溫的控制，功能測試上中下溫度設定各差5度，P.I.D程控後升降
溫曲線完全吻合，各段溫度跳動在1度內(950度)，此結果相當滿意。
圖一為Robot傳送畫面，可清楚表達Wafer傳送動作與去向。
圖二為機構整體外觀。
圖三為MFC的控制畫面
圖四為真空管與H2OBubble tank加熱單元
圖五為Edward iH1000 Pump與Burn box(設備為POLY製程)