8 inch 立式爐管自製(待續)

終於開始實現8inch立式爐管的自製，有了修改的經驗，此時所有結構
設計時就無所謂的尺寸限制，由於立式爐管wafer傳送不像水平爐管這
樣簡單，此次設計為Cassette port有6站，分產品、檔片、控片，雙
Boat旋轉，因此資料量的處理與機構的設計相當困難。
這次Cassette port特別經過染黑處理，表面不會因此看起來好像很髒
的樣子。
經過配重後，希望在傳送的時間可以在縮短，目前進度為:
1.氣體盤面安裝，雖然零件有些是國外製，但組裝皆為自組，經過氦氣
   測漏儀測漏是OK
2.電控盤面安裝
3.Cassette port安裝
4.Robot Arm 組裝

後續將陸續安裝加熱爐與滑軌